公司技术
Company Technology
公司技术
公司多年来坚持技术研发和创新,在G11掩膜版制造、全世代半色调掩膜版制造、大尺寸光阻涂布多个领域打破海外垄断,积累了一系列技术研发成果,包括PSM生产制作、电子束光刻、干法刻蚀、等离子束修补、虚拟光刻、反演光刻等等。目前公司在平板显示掩膜版领域做到全世代、全技术覆盖,在半导体掩膜版领域加速突破、领先布局,未来向先进制程进军,计划完成28nm半导体掩膜版的生产销售,进一步实现国产替代。
