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核心竞争力
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上游拓展

国内率先突破光阻涂布原材料技术,全产业链技术能力提升

国内率先突破光阻涂布原材料技术,全产业链技术能力提升

光阻涂布技术首次实现国内掩膜版行业在高精度、大尺寸光阻涂布技术突破,打破海外垄断。降低采购成本、减少产品不良率,逐步向原材料基础技术延伸。
Company Technology

公司技术

公司多年来坚持技术研发和创新,在G11掩膜版制造、全世代半色调掩膜版制造、大尺寸光阻涂布多个领域打破海外垄断,积累了一系列技术研发成果,包括PSM生产制作、电子束光刻、干法刻蚀、等离子束修补、虚拟光刻、反演光刻等等。目前公司在平板显示掩膜版领域做到全世代、全技术覆盖,在半导体掩膜版领域加速突破、领先布局,未来向先进制程进军,计划完成28nm半导体掩膜版的生产销售,进一步实现国产替代。